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蝕刻加工廠家:溶液成分下操作條件對蝕刻速度的影響

2023-11-29 957

  溶液成分夏操作條件對蝕刻速度的影響:溶液蝕刻,蝕刻注意事項

  (1)FeCL3濃度對蝕刻速度的影響:FeCL3蝕刻液中隨FeCL3濃度的增高,蝕刻速度加速。當所含F(xiàn)eCL3超過某一濃度時,因為溶液黏度添加,蝕刻速度反而有所下降。關于選用抗蝕印料或抗蝕干膜的銅零件,濃度可控制在35。B6左右;選用液體光致抗蝕劑(如骨膠、聚乙烯醇等)的銅零件,濃度町擰制在42。B吾左右。通常情況下控制在350g/L一600呂/L為宦。Feel,溶液的濃度范嘟及質量分數和相對密度的聯(lián)系。

  (2)鹽酸的添加量對蝕刻速度的影響:在蝕刻液中參加鹽酸,一則能夠抑制Fecl3和cucl,的水解;二則可進步蝕刻速度。特別足當蝕刻液巾鍘禽量達到37.4∥J.后+赫酸的效果更加明顯。但這應根據不同的抗蝕層材料挑選適宜的酸度,假如抗蝕層選用骨膠、明膠、聚乙烯醇等光致抗蝕劑,則不能選用太高的酸度,否則,抗蝕層易于被損壞。關于感光樹脂抗蝕劑及絲網日J刷抗蝕層,則能夠挑選較高的酸度。

  (3)溫度對蝕刻速度的影響:在hcl,蝕刻工藝中,隨溫度的添加,蝕刻速度亦加速,比如當溫度在50℃時,全新蝕刻液對銅的蝕刻速度叮達10“nI/n-訪:似在實踐爿:產中,都是選用常溫蝕刻方法。Fecl,對銅的蝕刻是一個放熱反應,跟著蝕劃的進行,蝕刻液溫度會逐步升高,蝕著4速凄加速。跟著FecL3的消耗,蝕刻速度也會下降。一起這一溫升進程也比較緩慢,所以在整個蝕刻進程中蝕刻速度改變不大。

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  (4)拌和對蝕刻速度的影響:靜止蝕刻的速度和蝕刻質量都是比較差的。這是風為在蝕刻進程中.一方面被蝕刻銅袁面和蝕刻液中都會有沉漣生成,影響了銅的正常蝕刻:另一方面,銅在蝕刻進程中,被蝕刻外表的溶液會逐步出現(xiàn)暗綠色,這表明在設蝕刻外表的Fec】,已跟銅發(fā)生了氧化還原反應而失掉r氧化才能。如但靠蝕刻液葉J n”的自身運動無法對被蝕刻外表的及時彌補,而使蝕刻速度變慢。這就是所說的濃差極化,即n“的運動速度跟不上Fe“被消耗的速度。

  假如對蝕刻液進行拌和或選用噴淋等蝕刻方法,則能夠加速Fe“的運動速度,使被蝕刻外表的Fe”能敏捷得到彌補,則能使蝕刻速度加速。如糶選用壓縮空氣拌和不但能進步蝕刻速度進町以使蝕剡液得到在生,延伸蝕刻液的使用壽命。但是,需適當彌補鹽酸

       文章源自:蝕刻加工廠家   http://www.www.sinusdoctornyc.com/

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